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局所クリーン化提案

局所クリーン化提案

半導体における微細加工は32nmレベルと従来の加工技術から次世代ステージに移行し、さらに高いクリーン度が要求されています。
併せて製造環境は激変する経済変動に対応すべく、大型設備からよりフレキシブルに対応できる安価なものが求められています。
また遺伝子技術などの高度化から創薬、医療などのクリーン化・分室化の要求も一層高まってきました。
このようなニーズに対応し、日本機材ではさまざまなシーンでのより高いクリーン度と、フレキシビリティ、コストミニマムを実現する「局所クリーン化」のご提案をいたします。

●クリーンセンシングシステム

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